Počet záznamů: 1
Electrical probe diagnostics of the hollow cathode plasma jet system for deposition of TiO.sub.x./sub. thin films
- 1.VIROSTKO, Petr, HUBIČKA, Zdeněk, ČADA, Martin, ADÁMEK, Petr, KMENT, Štěpán, TICHÝ, M., JASTRABÍK, Lubomír. Electrical probe diagnostics of the hollow cathode plasma jet system for deposition of TiOx thin films. Contributions to Plasma Physics. 2008, 48(5-7), 527-533. ISSN 0863-1042. E-ISSN 1521-3986. Dostupné z: doi: 10.1002/ctpp.200810085
Počet záznamů: 1