Počet záznamů: 1
Copper nitride thin films prepared by the RF plasma chemical reactor with low pressure supersonic single and multi-plasma jet system
- 1.SOUKUP, Ladislav, ŠÍCHA, M., FENDRYCH, František, JASTRABÍK, Lubomír, HUBIČKA, Zdeněk, CHVOSTOVÁ, Dagmar, ŠÍCHOVÁ, H., VALVODA, V., TARASENKO, A. A., STUDNIČKA, Václav, WAGNER, T., NOVÁK, Miloš. Copper nitride thin films prepared by the RF plasma chemical reactor with low pressure supersonic single and multi-plasma jet system. Surface and Coatings Technology. 1999, 116-119(-), 321-326. ISSN 0257-8972.
Počet záznamů: 1