Počet záznamů: 1
Dělič svazku pro DUV oblast
- 1.
SYSNO ASEP 0602561 Druh ASEP L - Prototyp, funkční vzorek Zařazení RIV G - Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek) Poddruh RIV Funkční vzorek Název Dělič svazku pro DUV oblast Překlad názvu Beam splitter in DUV region Tvůrce(i) Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Fořt, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Pokorný, Pavel (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Horáček, Miroslav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Venos, Š. (CZ)
Úlehla, L. (CZ)Celkový počet autorů 7 Rok vydání 2024 Int.kód APL–2024-11 Technické parametry Fázový difrakční optický element připravený v materiálu fused silica sloužící jako mnohonásobný dělič svazku pro DUV oblast. Ekonomické parametry Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Stanislav Krátký, Ph.D., kratky@isibrno.cz. Název vlastníka Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. IČ vlastníka 68081731 Kat.výsl.dle nákl. A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč Požad. na licenč. popl. A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek Jazyk dok. cze - čeština Země vlastníka CZ - Česká republika Klíč. slova beam splitter ; diffractive optical element ; e-beam lithography ; reactive ion etching Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery Obor OECD Optics (including laser optics and quantum optics) CEP TN02000020 GA TA ČR - Technologická agentura ČR Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Anotace Binární fázový difrakční optický element byl navržen jako dělič svazku s vysokým počtem užitečných difrakčních řádů pro vlnovou délku dopadajícího světla 266 nm. Vzorek obsahuje struktury s různou střídou pro dosažení minimální účinnosti v 0. difrakčním řádu. Vzorek byl připraven pomocí elektronové litografie a reaktivního iontového leptání do materiálu fused silica. Na obě strany vzorku byla nanesena antireflexní vrstvy pro minimalizaci ztrát na rozhraní substrátu a vzduchu. Překlad anotace Binary phase diffractive optical element was designed as a beam splitter with high number of diffractive orders pro wavelength of 266 nm. The sample contains structures with various duty cycles to achieve minimal efficiency of the 0. diffractive order. The sample was fabricated of fused silica by the use of e-beam lithography and reactive ion etching. The anti-reflective coating was prepared on both sides of the sample to minimize the losses on the substrate-air interface. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2025
Počet záznamů: 1