0602561 - ÚPT 2025 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Krátký, Stanislav - Fořt, Tomáš - Pokorný, Pavel - Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Venos, Š. - Úlehla, L.
Dělič svazku pro DUV oblast.
[Beam splitter in DUV region.]
Interní kód: APL–2024-11 ; 2024
Technické parametry: Fázový difrakční optický element připravený v materiálu fused silica sloužící jako mnohonásobný dělič svazku pro DUV oblast.
Ekonomické parametry: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Stanislav Krátký, Ph.D., kratky@isibrno.cz.
Grant CEP: GA TA ČR(CZ) TN02000020
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: beam splitter * diffractive optical element * e-beam lithography * reactive ion etching
Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0359785