Počet záznamů: 1
RIR MAPLE Procedure for Deposition of Carbon Rich Si/C/H Films
- 1.DŘÍNEK, V., STRAŠÁK, T., NOVOTNÝ, F., FAJGAR, R., BASTL, Z. RIR MAPLE Procedure for Deposition of Carbon Rich Si/C/H Films. Applied Surface Science. 2014, 292(FEB 15), 413-419. ISSN 0169-4332. E-ISSN 1873-5584. Dostupné z: doi: 10.1016/j.apsusc.2013.11.153
Počet záznamů: 1