Počet záznamů: 1  

Optical and transport properties of ZnO thin films prepared by reactive pulsed mid-frequency sputtering combined with RF ECWR plasma

  1. 1.
    SYSNO ASEP0618934
    Druh ASEPJ - Článek v odborném periodiku
    Zařazení RIVJ - Článek v odborném periodiku
    Poddruh JOstatní články
    NázevOptical and transport properties of ZnO thin films prepared by reactive pulsed mid-frequency sputtering combined with RF ECWR plasma
    Tvůrce(i) Remeš, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID
    Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Hubík, Pavel (FZU-D) RID, ORCID
    Celkový počet autorů3
    Číslo článku590
    Zdroj.dok.Nanomaterials. - : MDPI - ISSN 2079-4991
    Roč. 15, č. 8 (2025)
    Poč.str.14 s.
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.CH - Švýcarsko
    Klíč. slovaZnO ; optical absorptance ; photoluminescence ; sputtering ; Hall effect
    Vědní obor RIVBM - Fyzika pevných látek a magnetismus
    Obor OECDCondensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
    CEPEH22_008/0004596 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
    GC24-10607J GA ČR - Grantová agentura ČR
    Způsob publikováníOpen access
    Institucionální podporaFZU-D - RVO:68378271
    DOI https://doi.org/10.3390/nano15080590
    AnotaceThe study explores the optical and transport properties of polycrystalline ZnO thin films prepared using reactive pulsed mid-frequency sputtering with RF electron cyclotron wave resonance (ECWR) plasma. This deposition method increases the ionization degree of sputtered particles, the dissociation of reactive gas and the plasma density of pulsed reactive magnetron plasma. Optical absorption spectra reveal a sharp Urbach edge, indicating low valence band disorder. Lattice disorder and deep defect concentration are more likely to occur in samples with higher roughness. PL analysis at low temperature reveals in all samples a relatively slow (µs) red emission band related to deep bulk defects. The fast (sub-ns), surface-related blue PL band was observed in some samples. Blue PL disappeared after annealing in air at 500 C. Room temperature Hall effect measurements confirm n-type conductivity, though with relatively low mobility, suggesting defect-related scattering. Persistent photoconductivity was observed under UV illumination, indicating deep trap states affecting charge transport. These results highlight the impact of deposition and post-treatment on polycrystalline ZnO thin films, offering insights into optimizing their performance for optoelectronic applications, such as UV detectors and transparent conductive oxides.
    PracovištěFyzikální ústav
    KontaktKristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
    Rok sběru2026
    Elektronická adresahttps://hdl.handle.net/11104/0365730
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.