Počet záznamů: 1
Litografická maska s nanometrickým rozlišením
- 1.Kolařík, V., Meluzín, P., Krátký, S., Chlumská, J., Kopal, J., Burda, D. Litografická maska s nanometrickým rozlišením. Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i., 2024. Funkční vzorek APL-2024-02.
Počet záznamů: 1