Počet záznamů: 1  

Litografická maska s nanometrickým rozlišením

  1. 1.
    KOLAŘÍK, Vladimír, MELUZÍN, Petr, KRÁTKÝ, Stanislav, CHLUMSKÁ, Jana, KOPAL, Jaroslav, BURDA, Daniel. Litografická maska s nanometrickým rozlišením. Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i., 2024. Funkční vzorek APL-2024-02.
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.