Počet záznamů: 1
Ultrafast infrared laser crystallization of amorphous Ge films on glass substrates
- 1.
SYSNO ASEP 0577936 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Ultrafast infrared laser crystallization of amorphous Ge films on glass substrates Tvůrce(i) Cheng, Y. (RU)
Bulgakov, Alexander V. (FZU-D) ORCID
Bulgakova, Nadezhda M. (FZU-D) ORCID, RID
Beránek, Jiří (FZU-D)
Zukerstein, Martin (FZU-D) ORCID
Milekhin, I.A. (RU)
Popov, A. A. (RU)
Volodin, V.A. (RU)Celkový počet autorů 8 Číslo článku 2048 Zdroj.dok. Micromachines. - : MDPI - ISSN 2072-666X
Roč. 14, č. 11 (2023)Poč.str. 14 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CH - Švýcarsko Klíč. slova germanium ; thin films ; ultrashort infrared laser annealing ; crystallization ; Raman spectroscopy ; nonrefractory substrates Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery Obor OECD Optics (including laser optics and quantum optics) CEP EF15_003/0000445 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Způsob publikování Open access Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 UT WOS 001113669700001 EID SCOPUS 85178109648 DOI https://doi.org/10.3390/mi14112048 Anotace Amorphous germanium films on nonrefractory glass substrates were annealed by ultrashort near-infrared (1030 nm, 1.4 ps) and mid-infrared (1500 nm, 70 fs) laser pulses. Crystallization of germanium irradiated at a laser energy density (fluence) range from 25 to 400 mJ/cm2 under single-shot and multishot conditions was investigated using Raman spectroscopy. The dependence of the fraction of the crystalline phase on the fluence was obtained for picosecond and femtosecond laser annealing. The regimes of almost complete crystallization of germanium films over the entire thickness were obtained (from the analysis of Raman spectra with excitation of 785 nm laser). The possibility of scanning laser processing is shown, which can be used to create films of micro- and nanocrystalline germanium on flexible substrates. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2024 Elektronická adresa https://hdl.handle.net/11104/0347013
Počet záznamů: 1