Počet záznamů: 1
Optical anisotropy of glancing angle deposited thin films on nano-patterned substrates
- 1.
SYSNO ASEP 0566321 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Optical anisotropy of glancing angle deposited thin films on nano-patterned substrates Tvůrce(i) Grineviciute, L. (LT)
Moein, T. (AU)
Han, M. (AU)
Ng, S.H. (AU)
Anand, V. (AU)
Katkus, T. (AU)
Ryu, M. (JP)
Morikawa, J. (JP)
Tobin, M.J. (AU)
Vongsvivut, J. (AU)
Tolenis, Tomas (FZU-D) ORCID
Juodkazis, S. (AU)Celkový počet autorů 12 Zdroj.dok. Optical Materials Express. - : Optical Society of America - ISSN 2159-3930
Roč. 12, č. 3 (2022), s. 1281-1290Poč.str. 10 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. US - Spojené státy americké Klíč. slova birefringence ; laser Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery Obor OECD Optics (including laser optics and quantum optics) Způsob publikování Open access Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 UT WOS 000764503700007 EID SCOPUS 85125651178 DOI 10.1364/OME.451669 Anotace This study has demonstrated that 3D columnar micro-films/coatings can be deposited over pre-patterned surfaces with sub-micrometer periodic patterns. Four-angle polarisation analysis of thin (0.4 − 1∼µm) Si and SiO2 films, evaporated via glancing angle deposition (GLAD) at 70° to the normal, was carried out in reflection mode using synchrotron infrared microspectroscopy at the Australian Synchrotron. The angular dependence of absorbance followed A(θ) ∝ cos 2 θ, confirmed for Si substrates patterned by electron beam lithography and plasma etching, which were used to make checkerboard patterns of Λ = 0.4∼µm period on Si. Retardance control by birefringence of a patterned SiO2 substrate coated by columnar SiO2 is promising for UV-visible applications due to the use of the same material to endow polarisation control. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2023 Elektronická adresa https://hdl.handle.net/11104/0337688
Počet záznamů: 1