Počet záznamů: 1
Highly phosphorus-doped polycrystalline diamond growth and properties
- 1.
SYSNO ASEP 0556566 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Highly phosphorus-doped polycrystalline diamond growth and properties Tvůrce(i) Lambert, Nicolas (FZU-D) ORCID, RID
Weiss, Zdeněk (FZU-D) ORCID
Klimša, Ladislav (FZU-D) ORCID
Kopeček, Jaromír (FZU-D) RID, ORCID
Gedeonová, Zuzana (FZU-D) ORCID
Hubík, Pavel (FZU-D) RID, ORCID
Mortet, Vincent (FZU-D) RID, ORCIDCelkový počet autorů 7 Číslo článku 108964 Zdroj.dok. Diamond and Related Materials. - : Elsevier - ISSN 0925-9635
Roč. 125, May (2022)Poč.str. 6 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CH - Švýcarsko Klíč. slova diamond growth ; polycrystalline diamond ; phosphorus doping ; pulsed gas ; microwave plasma enhanced chemical vapor deposition Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus Obor OECD Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.) CEP GA21-03538S GA ČR - Grantová agentura ČR Výzkumná infrastruktura CzechNanoLab - 90110 - Vysoké učení technické v Brně Způsob publikování Omezený přístup Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 UT WOS 000790962500005 EID SCOPUS 85126623362 DOI 10.1016/j.diamond.2022.108964 Anotace In this work, phosphorus-doped polycrystalline diamond layers were grown using a new gas control process to increase the incorporation of phosphorus in diamond. Topographical characteristics and crystalline quality of the phosphorus-doped polycrystalline diamond layers grown on Si substrates were analyzed using Scanning Electron Microscopy (SEM) and Raman spectroscopy. The phosphorus concentration was determined using Glow-Discharge Optical Emission Spectroscopy (GDOES). Polycrystalline diamond layers have a good crystalline quality with a sp3/sp2 carbon ration over 75%. The growth rate reaches up to 440 nm∙h−1, and the phosphorus concentration is well above 1020 cm−3. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2023 Elektronická adresa https://doi.org/10.1016/j.diamond.2022.108964
Počet záznamů: 1