- Picosecond infrared laser crystallization of Ge layers in Ge/Si multi…
Počet záznamů: 1  

Picosecond infrared laser crystallization of Ge layers in Ge/Si multi-nanolayers for optoelectronic applications

  1. 1.
    SYSNO0556457
    NázevPicosecond infrared laser crystallization of Ge layers in Ge/Si multi-nanolayers for optoelectronic applications
    Tvůrce(i) Volodin, V.A. (RU)
    Krivyakin, G.K. (RU)
    Bulgakov, Alexander V. (FZU-D) ORCID
    Levy, Yoann (FZU-D) ORCID, RID
    Beránek, Jiří (FZU-D)
    Nagisetty, Siva S. (FZU-D)
    Bryknar, Z. (CZ)
    Bulgakova, Nadezhda M. (FZU-D) ORCID, RID
    Geydt, P.V. (RU)
    Popov, A. A. (RU)
    Zdroj.dok. Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. - Bellingham : SPIE, 2022 / Lukichev V.F. ; Rudenko K.V.
    Konference International Conference on Micro- and Nano-Electronics /14./, 04.10.2021 - 08.10.2021, Zvenigorod
    Číslo článku1215702
    Druh dok.Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
    Grant CZ.02.1.01/0.0/0.0/15_003/0000445, XE - země EU
    EF15_003/0000445 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
    CZ.02.1.01/0.0/0.0/15_006/0000674, XE - země EU
    EF15_006/0000674 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
    LO1602 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
    Institucionální podporaFZU-D - RVO:68378271
    Jazyk dok.eng
    Země vyd.US
    Klíč.slova Ge/Si multi-nanolayers * picosecond infrared pulsed laser annealing * Raman spectroscopy * nonlinear efffects in light absorption
    URLhttps://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-spie/12157/2622731/Picosecond-infrared-laser-crystallization-of-Ge-layers-in-Ge-Si/10.1117/12.2622731.short
    Trvalý linkhttp://hdl.handle.net/11104/0330692
     
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.