Počet záznamů: 1
Functional nano-structuring of thin silicon nitride membranes
- 1.
SYSNO 0525191 Název Functional nano-structuring of thin silicon nitride membranes Tvůrce(i) Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Řiháček, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID
Knápek, Alexandr (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAIKorespondující/senior Matějka, Milan - Korespondující autor Zdroj.dok. Journal of Electrical Engineering - Elektrotechnický časopis. Roč. 71, č. 2 (2020), s. 127-130. - : Slovenská technická univerzita v Bratislave Druh dok. Článek v odborném periodiku Grant TN01000008 GA TA ČR - Technologická agentura ČR, CZ - Česká republika ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Jazyk dok. eng Země vyd. SK Klíč.slova membrane * nano optical device * electron optics * electron beam lithography * silicon nitride * reactive ion etching * silicon etching * microfabrication URL https://content.sciendo.com/view/journals/jee/71/2/article-p127.xml Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0309382
Počet záznamů: 1