Počet záznamů: 1
Time-resolved optical emission spectroscopy of a unipolar and a bipolar pulsed magnetron sputtering discharge in an argon/oxygen gas mixture with a cobalt target
- 1.
SYSNO 0518879 Název Time-resolved optical emission spectroscopy of a unipolar and a bipolar pulsed magnetron sputtering discharge in an argon/oxygen gas mixture with a cobalt target Tvůrce(i) Hippler, Rainer (FZU-D) ORCID
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Straňák, Vítězslav (FZU-D) RID, ORCID
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAIZdroj.dok. Plasma Sources Science & Technology. Roč. 28, Nov (2019), s. 1-13. - : Institute of Physics Publishing Číslo článku 115020 Druh dok. Článek v odborném periodiku Grant CZ.02.1.01/0.0/0.0/16_019/0000760, XE - země EU EF16_019/0000760 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika GA19-00579S GA ČR - Grantová agentura ČR FV30177 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Jazyk dok. eng Země vyd. GB Klíč.slova magnetron sputtering * HiPIMS * bipolar pulse * time-resolved optical emission spectroscopy * ion mass spectrometry URL http://hdl.handle.net/11104/0303898 Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0303898 Název souboru Staženo Velikost Komentář Verze Přístup 0518879.pdf 5 2.2 MB CC licence Vydavatelský postprint povolen
Počet záznamů: 1