Počet záznamů: 1
Time-resolved optical emission spectroscopy of a unipolar and a bipolar pulsed magnetron sputtering discharge in an argon/oxygen gas mixture with a cobalt target
- 1.
SYSNO ASEP 0518879 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Time-resolved optical emission spectroscopy of a unipolar and a bipolar pulsed magnetron sputtering discharge in an argon/oxygen gas mixture with a cobalt target Tvůrce(i) Hippler, Rainer (FZU-D) ORCID
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Straňák, Vítězslav (FZU-D) RID, ORCID
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAICelkový počet autorů 4 Číslo článku 115020 Zdroj.dok. Plasma Sources Science & Technology. - : Institute of Physics Publishing - ISSN 0963-0252
Roč. 28, Nov (2019), s. 1-13Poč.str. 13 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. GB - Velká Británie Klíč. slova magnetron sputtering ; HiPIMS ; bipolar pulse ; time-resolved optical emission spectroscopy ; ion mass spectrometry Vědní obor RIV BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech Obor OECD Fluids and plasma physics (including surface physics) CEP EF16_019/0000760 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy GA19-00579S GA ČR - Grantová agentura ČR FV30177 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu Způsob publikování Open access Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 UT WOS 000505707300001 EID SCOPUS 85079549910 DOI 10.1088/1361-6595/ab54e8 Anotace Reactive high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) of a cobalt cathode in pure argon gas and with different oxygen admixtures was investigated by time-resolved optical emission spectroscopy (OES) and time-integrated energy-resolved mass spectrometry. The HiPIMS discharge was operated with a bipolar pulsed power supply capable of providing a large negative voltage with a typical pulse width of 100 μs followed by a long positive pulse with a pulse width of about 350 μs. The HiPIMS plasma in pure argon is dominated by Co+ ions. With the addition of oxygen, O+ ions become the second most prominent positive ion species. OES reveals the presence of Ar I, Co I, O I, and Ar II emission lines. The transition from an Ar+ to a Co+ ion sputtering discharge is inferred from time-resolved OES. The enhanced intensity of excited Ar+* ions is explained by simultaneous excitation and ionisation induced by energetic secondary electrons from the cathode. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2020 Elektronická adresa http://hdl.handle.net/11104/0303898
Počet záznamů: 1