- Oxidation of ablated silicon during pulsed laser deposition in a back…
Počet záznamů: 1  

Oxidation of ablated silicon during pulsed laser deposition in a background gas with different oxygen partial pressures

  1. SYS0509434
    LBL
      
    01000a^^22220027750^450
    005
      
    20240711155946.4
    017
      
    $a 10.1051/epjconf/201919600008 $2 DOI
    100
      
    $a 20191014d m y slo 03 ba
    101
      
    $a eng
    102
      
    $a FR
    200
    1-
    $a Oxidation of ablated silicon during pulsed laser deposition in a background gas with different oxygen partial pressures
    215
      
    $a 5 s. $c E
    300
      
    $a Není wos ani scopus dne 30.1.2020
    463
    -1
    $1 001 cav_un_epca*0509435 $1 011 $a 2100-014X $1 200 1 $a EPJ Web of Conferences $h 196 $v S. 1-5 $1 210 $a les Ulis $c EDP Sciences $d 2019 $1 702 1 $a Markovich $b D.M. $4 340 $1 702 1 $4 340 $a Kuibin $b P.A. $1 702 1 $4 340 $a Vorobyev $b M.A.
    610
      
    $a SiOx films
    610
      
    $a pulsed laser deposition (PLD)
    610
      
    $a silicon ablation
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0314165 $a Starinskiy $b S.V. $y RU
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0276736 $a Rodionov $b A.A. $y RU
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0314166 $a Shukhov $b Y.G. $y RU
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0363377 $a Bulgakov $b Alexander V. $p FZU-D $i Centrum HiLASE $j HiLASE Centre $w Development of Lasers and Advanced Technologies (HiLASE) $y RU $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    856
      
    $u https://www.epj-conferences.org/.../epjconf_avtfg18_00008.html
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.