Počet záznamů: 1
Vysokorychlostní depozice homogenních oxidových vrstev prostřednictvím vícetryskového systému žhavených dutých katod
- 1.OLEJNÍČEK, J., ŠMÍD, J., HUBIČKA, Z., ČADA, M. Vysokorychlostní depozice homogenních oxidových vrstev prostřednictvím vícetryskového systému žhavených dutých katod. Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., 2018. Ověřená technologie TF01000084-2018V003.
Počet záznamů: 1