Počet záznamů: 1
Vysokorychlostní depozice homogenních oxidových vrstev prostřednictvím vícetryskového systému žhavených dutých katod
- 1.OLEJNÍČEK, Jiří, ŠMÍD, Jiří, HUBIČKA, Zdeněk, ČADA, Martin. Vysokorychlostní depozice homogenních oxidových vrstev prostřednictvím vícetryskového systému žhavených dutých katod. Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., 2018. Ověřená technologie TF01000084-2018V003.
Počet záznamů: 1