- Cathode voltage and discharge current oscillations in HiPIMS
Počet záznamů: 1  

Cathode voltage and discharge current oscillations in HiPIMS

  1. 1.
    Klein, P. - Hnilica, J. - Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Šlapanská, M. - Zemánek, M. - Vašina, P.
    Cathode voltage and discharge current oscillations in HiPIMS.
    Plasma Sources Science & Technology. Roč. 26, č. 5 (2017), s. 1-12, č. článku 055015. ISSN 0963-0252. E-ISSN 1361-6595
    Grant CEP: GA ČR(CZ) GA15-00863S
    Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
    Impakt faktor: 3.939, rok: 2017 ; AIS: 0.858, rok: 2017
    DOI: https://doi.org/10.1088/1361-6595/aa62ee
    http://hdl.handle.net/11104/0281682
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.