Počet záznamů: 1
Coordinate interferometric measuring system for positioning of a sample in electron-beam writer
- 1.
SYSNO ASEP 0467527 Druh ASEP A - Abstrakt Zařazení RIV Záznam nebyl označen do RIV Zařazení RIV Není vybrán druh dokumentu Název Coordinate interferometric measuring system for positioning of a sample in electron-beam writer Tvůrce(i) Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Holá, Miroslava (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Hrabina, Jan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Oulehla, Jindřich (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Valtr, M. (CZ)
Klapetek, P. (CZ)Celkový počet autorů 7 Zdroj.dok. NanoScale 2016. 11th Seminar on Quantitative Microscopy (QM) and 7th Seminar on Nanoscale Calibration Standards and Methods. - Wroclaw : Wroclaw University of Technology, 2016 Poč.str. 1 s. Forma vydání Tištěná - P Akce NanoScale 2016. Seminar on Quantitative Microscopy (QM) /11./ and Seminar on Nanoscale Calibration Standards and Methods /7./ Datum konání 09.03.2016 - 11.03.2016 Místo konání Wroclaw Země PL - Polsko Typ akce EUR Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. PL - Polsko Klíč. slova SPM ; nanometrology ; nanoscale ; nanopositioning interferometry Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Anotace The short-range scanning probe microscope (SPM) system developed in cooperation between Institute of Scientific Instruments (ISI) and Czech Metrology Institute (CMI) has been modified by new interferometers developed at ISI. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2017
Počet záznamů: 1