Počet záznamů: 1
Intercomparison of ion beam analysis software for the simulation of backscattering spectra from two-dimensional structures
- 1.
SYSNO ASEP 0464869 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Intercomparison of ion beam analysis software for the simulation of backscattering spectra from two-dimensional structures Tvůrce(i) Mayer, M. (DE)
Malinský, Petr (UJF-V) RID, ORCID, SAI
Schiettekatte, F. (DE)
Zolnai, Z. (HU)Celkový počet autorů 4 Zdroj.dok. Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B. - : Elsevier - ISSN 0168-583X
Roč. 385, OCT (2016), s. 65-73Poč.str. 9 s. Forma vydání Tištěná - P Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. NL - Nizozemsko Klíč. slova ion beam analysis ; computer simulation Vědní obor RIV BG - Jaderná, atomová a mol. fyzika, urychlovače CEP GBP108/12/G108 GA ČR - Grantová agentura ČR Institucionální podpora UJF-V - RVO:61389005 UT WOS 000384872300010 EID SCOPUS 84988030680 DOI 10.1016/j.nimb.2016.08.010 Anotace The codes RBS-MAST, STRUCTNRA, F95-Rough and CORTEO are simulation codes for ion beam analysis spectra from two-or three-dimensional sample structures. The codes were intercompared in a code code comparison using an idealized grating structure and by comparison to experimental data from a silicon grating on tantalum interlayer. All codes are in excellent agreement at higher incident energies and not too large energy losses. At lower incident energies, grazing angles of incidence and/or larger energy losses plural scattering effects play an increasing role. Simulation codes with plural scattering capabilities offer higher accuracy and better agreement to experimental results in this regime. Pracoviště Ústav jaderné fyziky Kontakt Markéta Sommerová, sommerova@ujf.cas.cz, Tel.: 266 173 228 Rok sběru 2017
Počet záznamů: 1