Počet záznamů: 1
Treatment of surfaces with slow electrons
- 1.
SYSNO ASEP 0460200 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Treatment of surfaces with slow electrons Tvůrce(i) Frank, Luděk (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Mikmeková, Eliška (UPT-D) RIDCelkový počet autorů 2 Zdroj.dok. Proceedings of the 15th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. - Brno : Institute of Scientific Instruments CAS, 2016 / Mika Filip - ISBN 978-80-87441-17-6 Rozsah stran s. 10-11 Poč.str. 2 s. Forma vydání Tištěná - P Akce International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /15./ Datum konání 29.05.2016 - 03.06.2016 Místo konání Skalský dvůr Země CZ - Česká republika Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova electron microscopy ; SEM ; STEM Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika CEP TE01020118 GA TA ČR - Technologická agentura ČR LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 UT WOS 000391254000003 Anotace Historically, the most annoying obstacle to acquiring SEM micrographs, in particular higher magnification micrographs taken with the ambition of resolving the finest observable details, may be said to be carbonaceous contamination “highlighting” the previous field of view with a black rectangle contoured by an even darker frame. This contamination is generated by decomposition of adsorbed hydrocarbon molecules with incident electrons leaving a crosslinked
layer of carbon atoms as a surface coating. The darker contours come from high surface mobility of hydrocarbon molecules from outside the field. The situation has been improved in recent decades by a lower pressure and dryer vacuum in specimen chambers, but even under ultrahigh vacuum (UHV) conditions the phenomenon occurs due to hydrocarbon molecules deposited on the specimen when loaded. Therefore, only in-situ cleaning with an
attachment producing an ion beam solves this problem in UHV, while some plasma cleaners have also started appearing in standard-vacuum SEM chambers. The goal of complete removal of hydrocarbons is motivated by the supposed unavoidability of their decomposition with primary electrons. However, we have found hydrocarbon molecules being released, rather than their decomposition, when the energy of the impinging electrons drops beneath 50 eV or so.Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2017 Elektronická adresa http://www.trends.isibrno.cz/
Počet záznamů: 1