Počet záznamů: 1
Characterization of microwave surface wave plasma in linear configuration and growth of nano-sized carbon allotropes
- 1.
SYSNO ASEP 0424263 Druh ASEP A - Abstrakt Zařazení RIV Záznam nebyl označen do RIV Zařazení RIV Není vybrán druh dokumentu Název Characterization of microwave surface wave plasma in linear configuration and growth of nano-sized carbon allotropes Tvůrce(i) Potocký, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Babchenko, Oleg (FZU-D) RID, ORCID
Ižák, Tibor (FZU-D) RID
Davydova, Marina (FZU-D) RID, ORCID
Rezek, Bohuslav (FZU-D) RID, ORCID
Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAIZdroj.dok. 537. WE Heraeus Seminar. Physics of Ionized and Ion-Assisted PVD: Principles and Current Trends. - Dresden : Wilhelm und Else Heraeus-Stiftung, 2013 / Gemming S. ; Abrasonis G. ; Vinnichenko M.
S. 75-76Poč.str. 2 s. Akce WE-Heraeus-Seminar /537./ - Physics of Ionized and Ion-Assisted PVD: Principles and Current Trends Datum konání 26.06.2013-28.06.2013 Místo konání Dresden Země DE - Německo Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. DE - Německo Klíč. slova microwave plasma ; CVD deposition Vědní obor RIV BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech CEP TA01011740 GA TA ČR - Technologická agentura ČR LM2011026 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy GAP205/12/0908 GA ČR - Grantová agentura ČR Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Anotace Recently design and optimization of the microwave plasma CVD techniques has reached matured state. Design and optimization of microwave plasma reactors is dominated by high pressure systems (10 to 100kPa). Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2014
Počet záznamů: 1