Počet záznamů: 1
Study on diamond films deposited by pulsed linear antenna microwave plasma chemical vapor deposition from H.sub.2./sub./CH.sub.4./sub./CO.sub.2./sub./N.sub.2./sub. gas chemistry
- 1.
SYSNO ASEP 0424202 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Study on diamond films deposited by pulsed linear antenna microwave plasma chemical vapor deposition from H2/CH4/CO2/N2 gas chemistry Tvůrce(i) Vojs, M. (SK)
Varga, Marián (FZU-D) RID, ORCID
Babchenko, Oleg (FZU-D) RID, ORCID
Ižák, Tibor (FZU-D) RID
Mikolášek, M. (SK)
Marton, M. (SK)
Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAIZdroj.dok. Proceedings of 8th Solid State Surfaces and Interfaces. - Bratislava : Comenius University, 2013 / Brunner R. - ISBN 978-80-223-3501-0 Rozsah stran s. 187 Poč.str. 1 s. Forma vydání Tištěná - P Akce Solid State Surfaces and Interfaces /8./ Datum konání 25.11.2013-28.11.2013 Místo konání Smolenice Země SK - Slovensko Typ akce EUR Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. SK - Slovensko Klíč. slova diamond films ; nitrogen doping ; plasma chemistry Vědní obor RIV JJ - Ostatní materiály CEP GBP108/12/G108 GA ČR - Grantová agentura ČR Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Anotace In this contribution we focused on the detailed study of diamond films grown by pulsed linear antenna microwave plasma chemical vapour deposition from the N2/H2/CH4/CO2 process gas mixture at different concentrations. The changes observed in the plasma chemistry and growth kinetics were discussed. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2014
Počet záznamů: 1