Observation of high stressed hydrogenated carbon nitride films by SLEEM

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0386392
Název	Observation of high stressed hydrogenated carbon nitride films by SLEEM
Tvůrce(i)	Mikmeková, Eliška (UPT-D)_RID Müllerová, Ilona (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID} Sobota, Jaroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	Proceedings of the 13th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. S. 43-44. - Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2012 / Mika F.
Konference	International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /13./, Skalský dvůr, 25.06.2012-29.06.2012
Druh dok.	Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	SLEEM * hydrogenated carbon nitride films
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0215692

Počet záznamů: 1