Počet záznamů: 1
Hybridní plazmatický pulzní HIPIMS+MF systém pro reaktivní naprašování optických tenkých vrstev pro laboratorní a testovací účely
- 1.Hubička, Z., Čada, M., Straňák, V., Šmíd, J., Jastrabík, L., Kment, Š., Dejneka, A. Hybridní plazmatický pulzní HIPIMS+MF systém pro reaktivní naprašování optických tenkých vrstev pro laboratorní a testovací účely. Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., 2011. Funkční vzorek FS1/FZÚ/2011.
Počet záznamů: 1