Počet záznamů: 1  

Time-resolved plasma parameters in the HiPIMS discharge with Ti target in Ar/O2 atmosphere

  1. SYS0364640
    LBL
      
    02355^^^^^2200385^^^450
    005
      
    20240103195550.3
    014
      
    $a 000293258600068 $2 WOS
    017
      
    $a 10.1016/j.surfcoat.2010.11.050 $2 DOI
    100
      
    $a 20110929d m y slo 03 ba
    101
    0-
    $a eng
    102
      
    $a CH
    200
    1-
    $a Time-resolved plasma parameters in the HiPIMS discharge with Ti target in Ar/O2 atmosphere
    215
      
    $a 4 s.
    463
    -1
    $1 001 cav_un_epca*0257628 $1 011 $a 0257-8972 $1 200 1 $a Surface and Coatings Technology $v Roč. 205, č. 2 (2011), S317-S321 $1 210 $c Elsevier
    610
    0-
    $a HiPIMS
    610
    0-
    $a Langmuir probe
    610
    0-
    $a ion flux
    610
    0-
    $a reactive sputtering
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0100168 $a Čada $b Martin $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0100245 $a Hubička $b Zdeněk $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0236881 $a Adámek $b Petr $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0256705 $a Klusoň $b Jan $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0100259 $a Jastrabík $b Lubomír $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.