Počet záznamů: 1
Investigation of the negative ions in Ar/O.sub.2./sub. plasma of magnetron sputtering discharge with Al:Zn target by ion mass spectrometry
SYS 0363960 LBL 02961^^^^^2200397^^^450 005 20240103195508.6 014 $a 000290633300011 $2 WOS 017 $a 10.1002/ppap.201000195 $2 DOI 100 $a 20110914d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng 102 $a DE 200 1-
$a Investigation of the negative ions in Ar/O2 plasma of magnetron sputtering discharge with Al:Zn target by ion mass spectrometry 215 $a 6 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0420447 $1 011 $a 1612-8850 $e 1612-8869 $1 200 1 $a Plasma Processes and Polymers $v Roč. 8, č. 5 (2011), s. 459-464 $1 210 $c Wiley 610 0-
$a energy-resolved ion mass spectrometry 610 0-
$a formation of negative ions 610 0-
$a magnetron sputtering 610 0-
$a mass spectrometry 610 0-
$a transparent conductive oxide 700 -1
$3 cav_un_auth*0100459 $a Pokorný $b Petr $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100391 $a Mišina $b Martin $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100150 $a Bulíř $b Jiří $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100346 $a Lančok $b Ján $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0252234 $a Fitl $b Přemysl $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100398 $a Musil $b Jindřich $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100418 $a Novotný $b Michal $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1