Počet záznamů: 1
Use of electronics product definition for the development of differentially pumped chamber
- 1.
SYSNO ASEP 0352595 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Use of electronics product definition for the development of differentially pumped chamber Tvůrce(i) Maxa, J. (CZ)
Neděla, Vilém (UPT-D) RID, ORCID, SAICelkový počet autorů 2 Zdroj.dok. EDS'10 - Electronic Devices and Systems IMAPS CS International Conference 2010 - Proceedings. - Brno : Vysoké učení technické v Brně, 2010 - ISBN 978-80-214-4138-5 Rozsah stran s. 215-223 Poč.str. 9 s. Akce EDS '10 - Electronic Devices and Systems IMAPS CS International Conference Datum konání 01.09.2010-02.09.2010 Místo konání Brno Země CZ - Česká republika Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova EREM ; CAx ; SolidWorks ; Cosmos ; FEI Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika CEP GAP102/10/1410 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) Anotace Environmental scanning electron microscope creates new possibilities in the field of examination various types of specimens and their phases. The article analyses 3nd compares the results of air pumping measurement for selected shapes of the differentially pumped chamber to create vacuum, using the Cosmos FloWorks system. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2011
Počet záznamů: 1