Počet záznamů: 1
Laser Source for Interferometry in Nanometrology
- 1.
SYSNO ASEP 0352194 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Laser Source for Interferometry in Nanometrology Tvůrce(i) Hrabina, Jan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Čížek, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAIZdroj.dok. Proceedings of the International Conference on Nanotechnology: Fundamentals and Applications. - Ottawa : International ASET, 2010 - ISBN 978-0-9867183-0-4 Rozsah stran 541: 1-6 Poč.str. 6 s. Akce Nanotechnology: Fundamentals and Applications Datum konání 04.08.2010-06.08.2010 Místo konání Ottawa Země CA - Kanada Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CA - Kanada Klíč. slova nanometrology ; AFM microscopy ; interferometry Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery CEP LC06007 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy 2C06012 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy 2A-1TP1/127 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu FT-TA3/133 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu 2A-3TP1/113 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu GA102/09/1276 GA ČR - Grantová agentura ČR GA102/07/1179 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) Anotace The contribution is oriented towards measuring in the nanoscale through local probe microscopy techniques, primarily the AFM microscopy. The need to make the AFM microscope a nanometrology tool not only the positioning of the tip has to be based on precise measurements but the traceability of the measuring technique has to be ensured up to the primary etalon. This leads to the engagement of laser interferometric measuring methods. We present a design of a single-frequency stabilized laser which serves as a laser source for multiaxis position control of a nanopositioning stage. We have decided for a frequency-doubled Nd:YAG laser with thermal frequency control locked to a Doppler-broadened absorption line in iodine. The laser stabilization technique is described together with comparison of frequency stability. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2011
Počet záznamů: 1