Počet záznamů: 1
Imaging of thermal treated thin films on silicon substrate in the scanning low energy electron microscope
SYS 0350672 LBL 02156^^^^^2200313^^^450 005 20240111140748.0 014 $a 000290773700027 $2 WOS 100 $a 20101202d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng 102 $a CZ 200 1-
$a Imaging of thermal treated thin films on silicon substrate in the scanning low energy electron microscope 215 $a 2 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0350656 $1 010 $a 978-80-254-6842-5 $1 200 1 $a Proceedings of the 12th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation $v S. 69-70 $1 210 $a Brno $c Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i $d 2010 $1 702 1 $a Mika $b F. $4 340 610 0-
$a thin films 610 0-
$a SLEEM 610 0-
$a Si substrate 700 -1
$3 cav_un_auth*0101572 $a Zobačová $b Jitka $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0244354 $a Mikmeková $b Šárka $i D1: Elektronová mikroskopie $j D1: Electron Microscopy $p UPT-D $w Electron Microscopy $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0266418 $a Polčák $b J. $y CZ $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0101547 $a Frank $b Luděk $i D1: Elektronová mikroskopie $j D1: Electron Microscopy $p UPT-D $w Electron Microscopy $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1