Počet záznamů: 1
Spatial coherence profilometry on tilted surfaces
- 1.
SYSNO ASEP 0340740 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Spatial coherence profilometry on tilted surfaces Tvůrce(i) Pavlíček, Pavel (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Halouzka, M. (CZ)
Duan, Z. (JP)
Takeda, M. (JP)Zdroj.dok. Applied Optics - ISSN 0003-6935
Roč. 48, č. 34 (2009), H40-H47Poč.str. 7 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. US - Spojené státy americké Klíč. slova tilted surface ; spatial coherence profilometry ; spatial coherence ; measurement error ; shape measurement Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery CEP 1M06002 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) UT WOS 000272284600008 DOI 10.1364/AO.48.000H40 Anotace The influence of tilted surfaces on the measurement of shape by spatial coherence profilometry is investigated. Based on theoretical analysis and experimental results, the systematic measurement error caused by surface tilt is determined. The theoretical analysis and the experiments show the similarities and differences between spatial coherence profilometry and white-light interferometry. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2010
Počet záznamů: 1