Počet záznamů: 1
Homogenization of CZ Si wafers by Tabula Rasa annealing
SYS 0332842 LBL 01348^^^^^2200313^^^450 005 20240301141445.1 100 $a 20100308d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng 102 $a NL 200 1-
$a Homogenization of CZ Si wafers by Tabula Rasa annealing 215 $a 4 s. 300 $a MSM0021622410 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0257418 $1 011 $a 0921-4526 $e 1873-2135 $1 200 1 $a Physica B-Condensed Matter $v Roč. 404, - (2009), s. 4637-4640 $1 210 $c Elsevier 610 0-
$a silicon 610 0-
$a interstitial oxygen 610 0-
$a oxygen precipitates 700 -1
$3 cav_un_auth*0254172 $a Meduňa $b M. $y CZ $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0254173 $a Caha $b O. $y CZ $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0047082 $a Kuběna $b J. $y CZ $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0016442 $a Kuběna $b A. $y CZ $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0101245 $a Buršík $b Jiří $p UFM-A $w Structure of Phases and Thermodynamics Group $4 070 $T Ústav fyziky materiálů AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1