Electrical probe diagnostics of the hollow cathode plasma jet system for deposition of TiO.sub.x./sub. thin films

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0309887
Název	Electrical probe diagnostics of the hollow cathode plasma jet system for deposition of TiO_x thin films
Překlad názvu	Sondová diagnostika plazmového tryskového systému s efektem duté katody pro depozice tenkých vrstev TiO_x.
Tvůrce(i)	Virostko, Petr (FZU-D) Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Adámek, Petr (FZU-D)_{RID, ORCID} Kment, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID} Tichý, M. (CZ) Jastrabík, Lubomír (FZU-D)_{RID, ORCID}
Zdroj.dok.	Contributions to Plasma Physics. Roč. 48, 5-7 (2008), s. 527-533. - : Wiley
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Grant	KAN301370701 GA AV ČR - Akademie věd
	KJB100100707 GA AV ČR - Akademie věd
	1M06002 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
	KAN400720701 GA AV ČR - Akademie věd
	GA202/06/0776 GA ČR - Grantová agentura ČR
CEZ	AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
	AV0Z10100521 - FZU-D (2005-2011)
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	DE
Klíč.slova	hollow cathode * plasma jet * probe diagnostics * deposition of thin films
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0161906

Počet záznamů: 1