A comparison of plasma in laser and hybrid laser-magnetron SiC deposition systems

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0309732
Název	A comparison of plasma in laser and hybrid laser-magnetron SiC deposition systems
Překlad názvu	Srovnání plazmatu v laserových a hybridních laser-magnetronových systémech pro přípravu SiC
Tvůrce(i)	Novotný, Michal (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Bulíř, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Lančok, Ján (FZU-D)_{RID, ORCID} Jelínek, Miroslav (FZU-D)_{RID, ORCID}
Zdroj.dok.	Plasma Processes and Polymers. Roč. 4, - (2007), S1017-S1021. - : Wiley
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Grant	KJB1010417 GA AV ČR - Akademie věd
	GA202/06/0216 GA ČR - Grantová agentura ČR
CEZ	AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	DE
Klíč.slova	laser ablation * magnetron sputtering * optical emission spectroscopy
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0161781

Počet záznamů: 1