Počet záznamů: 1  

Characterization of silicon oxide thin films deposited by plasma enhanced chemical vapour deposition from octamethylcyclotetrasiloxane/oxygen feeds

  1. 1.
    0185122 - UJF-V 20000293 RIV GB eng J - Článek v odborném periodiku
    Zajíčková, L. - Janča, J. - Peřina, Vratislav
    Characterization of silicon oxide thin films deposited by plasma enhanced chemical vapour deposition from octamethylcyclotetrasiloxane/oxygen feeds.
    Thin Solid Films. Roč. 338, - (1999), s. 49-59. ISSN 0040-6090. E-ISSN 1879-2731
    Kód oboru RIV: BG - Jaderná, atomová a mol. fyzika, urychlovače
    Impakt faktor: 1.101, rok: 1999
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0081539
     

Počet záznamů: 1  

Metadata v repozitáři ASEP jsou licencována pod licencí CC0.

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.