Hodnocení povrchu řezanych křemíkových desek

Počet záznamů: 1

SYSNO	0134265
Název	Hodnocení povrchu řezanych křemíkových desek
Překlad názvu	Surface evaluation of wire-cut silicon wafers
Tvůrce(i)	Pavlíček, Pavel (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Chmel, M. (CZ)
Zdroj.dok.	Jemná mechanika a optika. Roč. 48, č. 4 (2003), s. 99-103. - : Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Grant	LN00A015 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
CEZ	AV0Z1010921 - FZU-D
Jazyk dok.	cze
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	surface evaluation * silicon * wafer * interferometry * surface roughness
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0032179

Počet záznamů: 1