Počet záznamů: 1  

Influence of the additional RF discharge on the properties of carbon nitride thin films deposited by PLD

  1. 1.
    SYSNO0134067
    NázevInfluence of the additional RF discharge on the properties of carbon nitride thin films deposited by PLD
    Tvůrce(i) Lančok, Ján (FZU-D) RID, ORCID
    Novotný, Michal (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Bulíř, Jiří (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Jelínek, Miroslav (FZU-D) RID, ORCID
    Zelinger, Zdeněk (UFCH-W) RID, ORCID
    Zdroj.dok.Advanced Laser Technologies. s. 118-124. - Bellingham : SPIE International Society for Optical Engineering, 2002 / Dimitras D.C. ; Dinescu M. ; Konov V.I.
    ISBN0-8194-4528-2
    Konference ALT'01 International Conference on Advanced Laser Technologies, Constanta, 11.09.2001-14.09.2001
    Druh dok.Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
    CEZAV0Z1010914 - FZU-D
    Jazyk dok.eng
    Země vyd.US
    Klíč.slova carbon nitride thin films * PLD * RF discharge
    Trvalý linkhttp://hdl.handle.net/11104/0032004
     

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.