Počet záznamů: 1  

Energy resolved ion mass spectroscopy of the plasma during reactive magnetron sputtering

  1. 1.
    MIŠINA, M., SHAGINYAN, L. R., MAČEK, M., PANJAN, P. Energy resolved ion mass spectroscopy of the plasma during reactive magnetron sputtering. Surface and Coatings Technology. 2001, 142-144(-), 348-354. ISSN 0257-8972. E-ISSN 1879-3347.

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.