Sheet resistance of LiNbO.sub.3./sub. wafers processed in radio-ferquency plasma of hydrogen

Počet záznamů: 1

SYSNO	0132737
Název	Sheet resistance of LiNbO₃ wafers processed in radio-ferquency plasma of hydrogen
Tvůrce(i)	Turčičová, Hana (FZU-D)_{RID, ORCID} Prachařová, Jarmila (FZU-D) Červená, Jarmila (UJF-V) Vacík, Jiří (UJF-V)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	Czechoslovak Journal of Physics. Roč. 50, S3 (2000), s. 461-465. - : Springer
Konference	Symposium on Plasma Physics and Technology /19./, Praha, 06.06.2000-09.06.2000
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Grant	GA202/98/1285 GA ČR - Grantová agentura ČR
	CZR10031, XX
CEZ	AV0Z1010914 - FZU-D
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	CZ
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0000584

Počet záznamů: 1