Počet záznamů: 1  

Formation of Ti.sub.1-xSi./sub.x and Ti.sub.1-xSi./sub.xN films by magnetron co-sputtering

  1. 1.
    SYSNO0132189
    NázevFormation of Ti1-xSix and Ti1-xSixN films by magnetron co-sputtering
    Tvůrce(i) Musil, Jindřich (FZU-D) RID, ORCID
    Jankovcová, H. (CZ)
    Cibulka, V. (CZ)
    Zdroj.dok. Czechoslovak Journal of Physics. Roč. 49, č. 3 (1999), s. 359-372. - : Springer
    Druh dok.Článek v odborném periodiku
    Grant GV106/96/K245 GA ČR - Grantová agentura ČR
    VS96059 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
    ME 173 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
    Jazyk dok.eng
    Země vyd.CZ
    Trvalý linkhttp://hdl.handle.net/11104/0000555
     

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.