Počet záznamů: 1  

A comparision of internal plasma parameters in a conventional planar magnetron and magnetron with enhanced additional plasma confine ment

  1. 1.
    SYSNO ASEP0132075
    Druh ASEPJ - Článek v odborném periodiku
    Zařazení RIVJ - Článek v odborném periodiku
    Poddruh JOstatní články
    NázevA comparision of internal plasma parameters in a conventional planar magnetron and magnetron with enhanced additional plasma confine ment
    Tvůrce(i) Špatenka, P. (CZ)
    Leipner, I. (CZ)
    Vlček, J. (CZ)
    Musil, Jindřich (FZU-D) RID, ORCID
    Zdroj.dok.Plasma Sources Science & Technology. - : Institute of Physics Publishing - ISSN 0963-0252
    Roč. 6, - (1997), s. 46-52
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.GB - Velká Británie
    CEPGV106/96/K245 GA ČR - Grantová agentura ČR
    PracovištěFyzikální ústav
    KontaktKristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
    Rok sběru1999

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.