Počet záznamů: 1  

A comparision of internal plasma parameters in a conventional planar magnetron and magnetron with enhanced additional plasma confine ment

  1. 1.
    Špatenka, P., Leipner, I., Vlček, J., Musil, J. A comparision of internal plasma parameters in a conventional planar magnetron and magnetron with enhanced additional plasma confine ment. Plasma Sources Science & Technology. 1997, 6(-), 46-52. ISSN 0963-0252. E-ISSN 1361-6595.

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.