Počet záznamů: 1  

Depth inhomogenity of deposited thin films: Applications to semi-insulating polycrystalline silicon films

  1. 1.
    SYSNO0131738
    NázevDepth inhomogenity of deposited thin films: Applications to semi-insulating polycrystalline silicon films
    Tvůrce(i) Kučírková, A. (CZ)
    Navrátil, K. (CZ)
    Zemek, Josef (FZU-D) RID, ORCID
    Zdroj.dok. Thin Solid Films. Roč. 323, - (1998), s. 53-58. - : Elsevier
    Druh dok.Článek v odborném periodiku
    Grant IAA1010609 GA AV ČR - Akademie věd
    Jazyk dok.eng
    Země vyd.NL
    Trvalý linkhttp://hdl.handle.net/11104/0029787
     

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.