Počet záznamů: 1
The influence of deposition conditions on the growth and mechanical properties of CxHy films obtained by ECR plasma-activated CVD
- 1.
SYSNO 0131674 Název The influence of deposition conditions on the growth and mechanical properties of CxHy films obtained by ECR plasma-activated CVD Tvůrce(i) Shaginyan, L. R. (UA)
Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCID
Fendrych, František (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Novák, J. (ed.)Zdroj.dok. Surface and Coatings Technology. Roč. 99, - (1998), s. 42-51. - : Elsevier Druh dok. Článek v odborném periodiku Grant CT94-0100, XE - země EU Jazyk dok. eng Země vyd. CH Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0029729
Počet záznamů: 1