Počet záznamů: 1  

The influence of deposition conditions on the growth and mechanical properties of CxHy films obtained by ECR plasma-activated CVD

  1. 1.
    SYSNO ASEP0131674
    Druh ASEPJ - Článek v odborném periodiku
    Zařazení RIVJ - Článek v odborném periodiku
    Poddruh JOstatní články
    NázevThe influence of deposition conditions on the growth and mechanical properties of CxHy films obtained by ECR plasma-activated CVD
    Tvůrce(i) Shaginyan, L. R. (UA)
    Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCID
    Fendrych, František (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Novák, J. (ed.)
    Zdroj.dok.Surface and Coatings Technology. - : Elsevier - ISSN 0257-8972
    Roč. 99, - (1998), s. 42-51
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.CH - Švýcarsko
    PracovištěFyzikální ústav
    KontaktKristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
    Rok sběru1999

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.