Počet záznamů: 1
The influence of deposition conditions on the growth and mechanical properties of CxHy films obtained by ECR plasma-activated CVD
SYS 0131674 LBL 00000nam^^22^^^^^^^^450 005 20240903114629.8 101 0-
$a eng 102 $a CH 200 1-
$a The influence of deposition conditions on the growth and mechanical properties of CxHy films obtained by ECR plasma-activated CVD 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0257628 $1 011 $a 0257-8972 $e 1879-3347 $1 200 1 $a Surface and Coatings Technology $v Roč. 99, - (1998), s. 42-51 $1 210 $c Elsevier 700 -1
$3 cav_un_auth*0042222 $a Shaginyan $b L. R. $y UA $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0100259 $a Jastrabík $b Lubomír $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100198 $a Fendrych $b František $p FZU-D $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 702 -1
$3 cav_un_auth*0036103 $a Novák $b J. $4 340
Počet záznamů: 1