Počet záznamů: 1
Silicon nitride films prepared by high energy ion beam enhanced deposition
- 1.0130345 - FZU-D 940437 RIV NL eng J - Článek v odborném periodiku
Zemek, Josef - Černý, F. - Závětová, Milena - Vaněček, Milan - Železný, Vladimír
Silicon nitride films prepared by high energy ion beam enhanced deposition.
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B. Roč. 86, - (1994), s. 293-297. ISSN 0168-583X. E-ISSN 1872-9584
Grant CEP: GA AV ČR IA11032
Impakt faktor: 1.073, rok: 1994
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0028478
Počet záznamů: 1