Počet záznamů: 1
Noise in secondary electron emission: the low yield case
- 1.
SYSNO ASEP 0028799 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Noise in secondary electron emission: the low yield case Překlad názvu Šum sekundární emise elektronů při nízkém emisním výtěžku Tvůrce(i) Frank, Luděk (UPT-D) RID, SAI, ORCID Zdroj.dok. Journal of Electron Microscopy - ISSN 0022-0744
Roč. 54, č. 4 (2005), s. 361-365Poč.str. 5 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. JP - Japonsko Klíč. slova secondary electrons ; noise ; SEM image noise ; secondary emission noise ; statistics of secondary electrons ; non-Poisson factor Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus CEP IAA1065304 GA AV ČR - Akademie věd UT WOS 000233361100006 DOI https://doi.org/10.1093/jmicro/dfi044 Anotace Studies concerning assessment of the image quality in scanning electron microscopes and studies evaluating the detective efficiency of the secondary electron detectors in these microscopes must be based on statistics of secondary electron emission. The vast majority of previous studies have applied Poisson statistics, although their prerequisites have not been satisfied in most cases. This paper is concerned with the limits to the applicability of Poisson statistics to secondary electron emission. Adequate definition of a non-Poisson factor in the variance of the number of secondary electrons emitted is discussed, and a simple formula for this factor is derived for the low yield case in which both the primary and backscattered electron are assumed not to release more than one secondary electron. These conditions are met with conductive specimens composed of light elements at primary electron energies of tens of keV. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2006
Počet záznamů: 1