Počet záznamů: 1
Influence of the gas phase composition on nanocrystalline diamond films prepared by MWCVD
- 1.
SYSNO ASEP 0025674 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Ostatní články Název Influence of the gas phase composition on nanocrystalline diamond films prepared by MWCVD Překlad názvu Vliv složení plynné fáze na nanokrystalické diamantové vrystvy připravené MWCVD Tvůrce(i) Popov, C. (DE)
Jelínek, Miroslav (FZU-D) RID, ORCID
Boycheva, S. (DE)
Vorlíček, Vladimír (FZU-D) RID
Kulisch, W. (DE)Zdroj.dok. Journal of Metastable and Nanocrystalline Materials - ISSN 1422-6375
Roč. 23, - (2005), s. 31-34Poč.str. 4 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CH - Švýcarsko Klíč. slova microwave plasma CVD ; nanocrystalline diamond films ; characterization Vědní obor RIV BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech CEP IAA1010110 GA AV ČR - Akademie věd CEZ AV0Z1010914 - FZU-D Anotace Nanocrystalline diamond (NCD) films have been prepared by microwave plasma chemical vapor deposition (MWCVD) from methane/nitrogen mixtures, and the influence of the gas phase composition on the basic properties of the films (composition, morphology, topography, crystallinity and bonding structure) was investigated Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2006
Počet záznamů: 1